北京科華KrF深紫外負性光刻膠亮相北京科技周

北京科華KrF深紫外負性光刻膠亮相科技周

  8月20日，2022年全國科技活動周暨北京科技周活動在北京盛大開模，本次科技周活動以“走進科技，你我通行”為主題 展示了“十四五”期間北京領先科技創新成果，特別是“三城一區”建設進展以及人工智能芯片、通信、腦科學前沿、雙碳、生物制藥、醫療器械、元宇宙等領域的關鍵或核心技術成果。

   本屆科技周展區面積約為1.4萬平方米。其中室內展區4000平方米，戶外互動展區10000平方米，共展了300余個展項。借助VR、三   維視覺等展示技術，通過創新發明成果、科普基地活動、冬奧互動體驗等具體內容，為觀眾帶來互動性強，體驗性好的科普盛宴。

   在本屆科技周的活動中，北京科華展出了DKN系列KrF深紫外負性光刻膠成果，該項成果由北京市科委，中關村管委會科技資金支持開發，可廣泛用于集成電路深溝槽工藝，產品性能達到或超過國外同類產品性能，并且已經實現商用。該項成果的成功產業化，意味著我國KrF深紫外光刻膠技術水平得到了進一步提升，國產化KrF深紫外光刻膠產品序列更加完善。